一、项目名称
氮化硅薄片、流体腔，其基底为硅片，氮化硅厚度为10-30纳米，窗口为25-50微米。
二、单一来源采购理由说明
该氮化硅薄片、流体腔目前只有Nanopore solution公司生产的符合要求。
三、该项目拟从Nanopore solution公司购买。
四、征求意见期限从2016年3月30日至2016年4月6日止。
潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后两个工作日内以实名书面（盖单位公章、包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至中国科学院重庆绿色智能技术研究院科研公共服务平台（地址：重庆市北碚区水土镇水土高新园方正大道266号，联系人：叶老师，联系电话：023-65935458）。
中国科学院重庆绿色智能技术研究院
2016年3月30日
