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16 |
狭缝扫描式激光光束能量计 |
精密光学技术实验室 |
215 |
孙秀辉 |
65935626 |
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17 |
光束质量离子测量仪 |
精密光学技术实验室 |
215 |
孙秀辉 |
65935626 |
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18 |
连续可调谐激光器 |
精密光学技术实验室 |
215 |
孙秀辉 |
65935626 |
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19 |
光学平台 |
精密光学技术实验室 |
215 |
孙秀辉 |
65935626 |
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20 |
刻蚀机 |
微纳制造与系统集成研究中心实验室 |
602 |
张之胜 |
65935626 |
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21 |
匀胶机 |
微纳制造与系统集成研究中心实验室 |
602 |
张之胜 |
65935626 |
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22 |
台阶仪 |
微纳制造与系统集成研究中心实验室 |
602 |
张之胜 |
65935626 |
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23 |
移动掩膜曝光系统 |
微纳制造与系统集成研究中心实验室 |
602 |
张之胜 |
65935626 |
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24 |
快速电铸系统 |
微纳制造与系统集成研究中心实验室 |
602 |
张之胜 |
65935626 |
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25 |
PECVD高温管式炉 |
微纳制造与系统集成研究中心实验室 |
604 |
李占成 |
65935627 |
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26 |
CVD开启式管式炉 |
微纳制造与系统集成研究中心实验室 |
604 |
李占成 |
65935627 |
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27 |
单区管式炉 |
微纳制造与系统集成研究中心实验室 |
604 |
张永娜 |
65935626 |
高性能计算服务设备
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序号 |
设备名称 |
设备位置 |
房间号 |
联系人 |
联系电话 |
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1 |
曙光高性能计算机 |
高性能计算应用研究中心实验室 |
212/214/216 |
林小光 |
65935592 |
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2 |
云存储系统 |
高性能计算应用研究中心实验室 |
212/214/216 |
林小光 |
65935592 |
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3 |
云计算服务平台 |
高性能计算应用研究中心实验室 |
212/214/216 |
林小光 |
65935592 |
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