微纳制造与系统集成研究中心成立于2012年4月，重点聚焦国家中长期科技发展规划在先进制造技术领域的需要，围绕先进材料与微纳结构的奇异特性与应用，开展低维光电材料、规模化微纳加工技术与装备、新型微纳光电器件及系统研究，力争成为我国重要的微纳制造与系统集成基地，服务国家重大需求和经济社会高质量发展。 

    中心建有“跨尺度制造技术重庆市重点实验室”、“重庆市微纳加工与检测技术公共服务平台”、“重庆市超精密加工检测工程技术研究中心”，实验室面积约5000平方米，包括2000平方米的万级、千级和百级超净实验室，拥有价值近8000万元的微纳制造与表征实验平台，包括：聚焦离子束直写系统、金刚刀车削机、溅射镀膜机、二元曝光机、红外光谱成像仪、非球面测量系统、原子力显微镜、场发射扫描电子显微镜、激光共聚焦拉曼光谱仪、矢量网络分析仪等，具备了较完备的微纳制造与系统集成硬件条件和技术积累。  

研究方向

　　（1）低维光电材料制备与特性研究；  

　　（2）跨尺度微纳加工技术与装备研制；  

　　（3）新型微纳器件与芯片关键技术研究；  

　　（4）集成化智能感知系统研究。  

人才队伍

    研究中心集聚了一批海内外高层次人才，现有固定科学研究人员48人，在读研究生120余人。其中正高级职称9名、副高级职称21名，包括国家级领军人才、中科院百人计划、重庆英才领军人才、重庆市杰出青年、重庆市青年拔尖人才、中科院西部之光学者、中科院青促会等人才14人。  

研究成果

　　中心近年来承担国家、省部级及地方项目60余项，其中国家“863”计划项目1项、国家重点研发计划项目2项、国家自然基金项目30项，省部级项目50余项。获省部级技术发明一等奖、科技进步一等奖、自然科学二等奖等荣誉，发表高水平学术论文200余篇，获国家发明专利100余项。主持的代表性项目与成果如下。  

　　(1) 国家“863”计划项目，二维/三维石墨烯材料与光电器件的可控制备及示范应用，3372万元；  

　　(2) 国家重点研发计划项目，高载流子迁移率低维光电材料联合研发及应用示范，1640万元；  

　　(3) 国家重点研发计划项目，感算一体化室温红外成像探测技术研究，800万元；  

　　(4) 中国科学院科技服务网络计划（STS计划），面向智能电子终端的石墨烯材料制备与产业化应用，700万元；  

　　(5) 重庆国家自主创新示范区科技型中小企业研发共享服务平台，人工智能核心硬件微纳制造研发平台，800万元；  

　　(6) “大面积单层石墨烯生长方法与规模化制备技术”获重庆市科学技术奖技术发明一等奖；  

　　(7) “基于石墨烯触摸屏的关键技术及应用”获吴文俊人工智能科学技术进步一等奖；  

　　(8) “类皮肤柔性传感材料可控制备与器件性能调控”获重庆市科学技术奖自然科学二等奖；  

　　(9)“二维原子晶体的等离子体增强化学气相沉积方法及结构调控”获中国化工学会科学技术奖基础研究成果一等奖；  

　　(10) “飞机制造中极端条件力学参数的分布式感知关键技术及其测量应用”获重庆市科学技术奖科技进步二等奖。

联系方式

    中心联系人：邵老师，

    电话：023-65935625，

    邮箱：shaoli@cigit.ac.cn