依据重庆市科学技术委员相关文件要求，对2015年度重庆市科学技术奖申报项目进行公示，公示时间2015年7月15日至2015年7月24日。 

　　项目名称：大面积单层石墨烯薄膜生长方法与规模化制备技术 

　　主要完成单位：中国科学院重庆绿色智能技术研究院 

　　重庆墨希科技有限公司  

　　成果简介： 

　　石墨烯是全新的二维材料，具有优异的物理化学性质和广阔的应用前景。本项目针对大面积单层石墨烯薄膜制备的技术难题，在四个方面开展了系统的研究工作和技术创新，取得了阶段性突破： 

　　1.发现了化学气相沉积过程中CH3？基团在限域空间的非平衡态，研究了甲烷裂解的气相反应动力学过程，揭示了活性基团的空间分布均匀性对石墨烯成核与层数的影响规律，提出了气体预混和分布式多通道进气方法，解决了生长界面活性基团的浓度和均匀性控制难题，突破了大面积单层石墨烯薄膜生长的关键技术。 

　　2.针对规模化石墨烯薄膜制备，发明了双波段微波等离子体激励方法，运用CN？增加催化剂界面活性，将石墨烯生长时间由30分钟缩短至5分钟，温度降低至700℃；研制了分布式多腔室化学气相沉积装备，发明了限域空间的密集衬底生长技术，解决了石墨烯的大批量制备问题。 

　　3.发明了光敏匹配层和一步式石墨烯转移技术，设计了自适应贴合，原位固化和层压转印的一体化石墨烯转移方法，解决了石墨烯多步转移过程中存在的界面匹配差、工艺复杂、易破损等技术瓶颈。研制了片对卷石墨烯转移装备，解决了快速均匀贴合和固化等难题，实现了大面积石墨烯薄膜的快速转移。 

　　4.研制了我国首条年产100万平方米的单层石墨烯薄膜生产线，开发了28台（套）设备，开发了配套工艺，建立了企业标准，并通过了国家质量体系认证。本项目所量产的石墨烯薄膜产品已成功应用于智能终端触控屏、OLED等行业。 

　　本材料公示期内（7月15日-7月24日），任何单位或个人对公示项目的创造性、先进性、适用性及推荐材料的真实性和项目主要完成单位持有异议的，可以书面形式向科技处提出，并提供必要的证明材料。为便于核实查证，确保实事求是、客观公正地处理异议，提出异议的单位或者个人应当表明真实身份，并提供联系方式。凡匿名异议和超出期限的异议，不予受理。 

　　特此公示。 

　　联系单位：中国科学院重庆绿色智能技术研究院科技处 

　　通讯地址：重庆市北碚区方正大道266号 

　　联系电话：023-65935666 

　　联 系 人：孙萌 

　　                中国科学院重庆绿色智能技术研究院 

　　                           2015年7月15日