依据《重庆市科学技术奖励办法》以及《关于2024年度重庆市科学技术奖提名工作的通知》相关文件的要求，对2024年度重庆市科学技术奖申报项目进行公示，公示时间2025年2月11日至2025年2月17日。

一、项目名称

智能高速接近式光刻机关键技术及产业化

二、主要完成人

傅舰艇、蔡林沁、罗飞、林世超、孙秀辉、陈建军、文国昇、董国庆、宋延奎、邓三鹏

三、主要完成单位及提名等级

1.中国科学院重庆绿色智能技术研究院

2.重庆邮电大学

3.重庆城市职业学院

4.苏州中特微电子科技有限公司

5.江西兆驰半导体有限公司

6.天津博诺智创机器人技术有限公司

拟提名：重庆市科技进步奖二等奖

提名单位：两江新区科技创新局

四、项目简介

我国是世界制造业大国，制造业是立国之本、强国之基。习近平总书记强调“关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的。只有把关键核心技术掌握在自己手中，才能从根本上保障国家经济安全、国防安全和其他安全。光刻机是半导体高端制造领域的核心设备。长期以来，光刻机技术一直受到国外垄断，被称为“卡脖子”技术痛点，使我国在芯片制造领域发展受到极大制约。在国家科技部、总装备部、重庆市科委等部门资助下，中国科学院重庆绿色智能技术研究院，责无旁贷凝聚了国内优势高校、科研院所、科技企业、新型研发机构等围绕光刻机产业链梳理“卡脖子”难题，凝练出接近式光刻机平行光光源、显微控制、套刻精度等关键核心技术，突破了接近式光刻机技术壁垒，研制了智能高速接近式光刻机。该成果技术难度大，具有独立自主知识产权，在近紫外接近式光刻机领域整体技术达到国际先进水平。已在三安光电、华灿光电、兆驰股份等上市公司产业化应用，实现了国产替代，取得了显著成效，产生巨大经济效益和社会价值，推动了我国光刻技术及其相关领域的发展，取得以下创新性成果：

1.针对接近式光刻机光源不均匀、曝光能量密度低、光源模型误差累积，首创大角度光线偏折的多自由曲面联合配光方法。研发高能量密度、高均匀性、高平行度的UVLED光源，能量密度比汞灯光源提升2倍以上，曝光时间减少50%以上，产品均匀性达98%，使用寿命是汞灯30倍。解决了UVLED光源的高能量密度、高均匀性、高平行度难题，减小了光源模型误差积累。

2.针对现有对准装置物镜调焦难，对准效率低，发明了基于滚珠花键的旋转升降对位装置，研发了精密视觉伺服定位高性能多轴运动控制系统，分辨精度可达0.5μm，工件台平面定位精度±150nm。实现了精密导向的高精度XYZ-C四维显微运动控制和视觉伺服工件台高精度定位。

3.针对晶圆在涂胶烘烤后对位标记图像对比度低、结构模糊、非线性畸变等干扰导致定位精度低，提出了基于深度学习的对准降噪与盲图像高分辨率重建方法，构建了双视场闭环骨架匹配视觉对位算法模型，单片套刻对位时间小于2秒，套刻精度达到国际领先水平的±0.5μm，解决了多类型干扰引起的套刻对位精度低的难题。

成果主要在重庆研发和苏州、南昌、天津等地应用，获授权专利85件，其中发明66件；牵头制定标准2项，其中国际标准2项、行业标准4项；入选省部级领军人才主推技术30项次，其中苏州市3项次；研制专用光刻机7种；出版著作5部、论文40余篇。同时支撑了山东大学、中国科学院等一流院校科研平台建设，效果良好。

经中国机械工业联合会（原机械工业部）组织的成果鉴定：该成果技术难度大，具有自主知识产权，在近紫外接近式光刻机领域整体技术达到国际先进水平。

五、主要完成人情况表

第一完成人姓名:傅舰艇

技术职称:高级工程师

工作单位:中国科学院重庆绿色智能技术研究院

完成单位:中国科学院重庆绿色智能技术研究院

对项目的贡献:精密运动控制

第二完成人姓名:蔡林沁

技术职称:教授

工作单位:重庆邮电大学

完成单位:重庆邮电大学

对项目的贡献:图像算法处理

第三完成人姓名:罗飞

技术职称:副教授、高级工程师

工作单位:重庆城市职业学院

完成单位:重庆城市职业学院

对项目的贡献:机电控制

第四完成人姓名:林世超

技术职称:高级工程师

工作单位:苏州中特微电子科技有限公司

对项目的贡献:产业化推广

第五完成人姓名:孙秀辉

技术职称:副研究员

工作单位:中国科学院重庆绿色智能技术研究院

完成单位:中国科学院重庆绿色智能技术研究院

对项目的贡献:紫外光源设计

第六完成人姓名:陈建军

技术职称:工程师

工作单位:中国科学院重庆绿色智能技术研究院

完成单位:中国科学院重庆绿色智能技术研究院

对项目的贡献:光机结构设计

第七完成人姓名:文国昇

技术职称:高级工程师

工作单位:江西兆驰半导体有限公司

完成单位:江西兆驰半导体有限公司

对项目的贡献:负责产业化应用整体方案与支撑技术研发

第八完成人姓名:董国庆

技术职称:高级工程师

工作单位:江西兆驰半导体有限公司

完成单位:江西兆驰半导体有限公司

对项目的贡献:承担智能高速近紫外光刻机的LED产线应用与技术研发

第九完成人姓名:宋延奎

技术职称:助理研究员

工作单位:中国科学院重庆绿色智能技术研究院

完成单位:中国科学院重庆绿色智能技术研究院

对项目的贡献:高精密运动平台的结构设计

第十完成人姓名:邓三鹏

技术职称:教授、欧洲自然科学院院士

工作单位:天津博诺智创机器人技术有限公司

完成单位:天津博诺智创机器人技术有限公司

对项目的贡献:在光刻机生产车间提出了基于物联网的离散型车间数字溯源方法